1.MEMS微型近红外光谱仪
MEMS微型近红外光谱仪为傅里叶变换技术光谱仪,采用自主开发的电热式垂直大位移MEMS微镜,结合迈克尔逊干涉系统,多融合自适应控制及建模、一体化集成设计,可实现宽波段(1000-2500nm)光谱快速采集,对物质的组分和含量进行无损实时在线检测。我院在此产品拥有专利12份,公开发表同行评审论文15篇,获重庆市首届卓越工程师优秀成果转化奖。
2.超大位移电热MEMS微镜
采用全球首款超大位移电热MEMS微镜及独特设计的光学器件,极大提高了傅里叶变换型光谱仪的分辨率,实现了基于MEMS技术的微型光谱仪核心芯片的国产替代,国际领先。产品拥有自主开发的信号处理算法,具有高信噪比和小体积的特点,支持定制化。
3.结构光投影模组及3D相机
MEMS结构光投影模组是应用于3D建模和感知方向的光投射器,基于独立自主知识产权MEMS振镜技术,投射动态可编程条纹结构光,结合2D相机,利用激光三角测量法,可实现比传统双目视觉更高精度的3D建模效果。我院掌握6项发明专利,覆盖微镜设计制造、光学系统、控制算法等核心技术,从系统设计、芯片设计、光学设计、算法研发、软件开发到量产技术,完全自主可控。产品有效视场达到50°×45°,线激光精度达到0.5mm,条纹对比度高。经过高低温循环、跌落振动测试,性能稳定可靠。