北京理工大学重庆微电子研究院先进微纳工艺研究中心（以下简称中心）创建于2022年，2023年11月正式对外开放服务，已为几十家企业、科研院所及高校提供从设计、代工到中试的全周期技术保障与服务。2026年2月，中心获批重庆市经济和信息化委员会“制造业中试平台”。
中心立足微纳加工核心技术领域，聚焦国家重大战略需求，积极服务国家重大项目，致力于为原始创新探索与关键工艺突破提供坚实支撑，打造集工艺研发、中试验证、委托加工、联合攻关与人才培养于一体的高水平微纳加工服务平台，在集成电路重点领域补短板、锻长板、强优势，全面提升产业创新能力。
中心由谢会开教授领衔，核心骨干均具备多年工艺开发与产业化经验。现有专职技术人员10余人，其中副高及以上职称3人，工程师职称6人，形成了一支科学家与资深产业技术专家相结合的实战型团队。专职工程师按规范服务流程全程对接客户需求，确保专业且高效的服务。
中心拥有超净面积约1200平方米，总投入超1.5亿元，拥有60余台套高端工艺设备，建成完整的6英寸特色MEMS工艺研发中试线，可兼容4英寸及以下尺寸的硅基、玻璃基及聚合物基衬底工艺。围绕光刻、薄膜沉积、干法刻蚀、湿法刻蚀、清洗、高温热处理、晶圆键合、表面微电镀、减薄抛光及划片等核心工艺模块进行系统布局，贯通全流程的微纳制造能力，关键工艺技术指标达到业界先进水平。
