北京理工大学重庆微电子研究院官方网站

先进微纳工艺研究中心

委托工艺与检测服务

根据用户具体需求，承接单步工艺、多步工艺以及系统级微纳加工与测试任务，提供高效、精准的工艺与检测支持。

微纳结构与器件定制

为满足各类科研及市场应用需求，中心提供从薄膜制备、微纳结构半成品加工，到整体微纳器件成品的定制服务。

专业技术人才培养

中心开设净化间规范化培训课程，系统传授微纳加工相关技术和设备使用知识，着力培养具备实践能力的专业技术人才。

1. 科研支撑与项目协同：结合高校多学科交叉与人才集聚优势，积极参与重点科研项目申报与实施。

2. 流片与中试环境：面向高校院所及科技企业，支持研发过程中的技术验证与样品试制。

3. 科研攻关与产业化支持：开放工艺服务或开展联合研发，为科研项目推进与产品技术转化提供支持。

协同项目与研发合作

服务模式

先进微纳工艺中心专注于为6英寸、4英寸及以下尺寸的硅基、玻璃基及聚合物基微纳结构和器件提供工艺加工与测试服务。

服务流程

委托工艺与检测服务
微纳结构与器件定制
协同项目与研发合作
专业技术人才培养

1、工艺沟通与确认

确认加工或测试工艺可行性

2、签署合同与支付

按合同约定付款或预存结算

3、提交工艺流程单

按模板提交加工或测试单

4、样品送达

确认样品状态及工艺条件

5、加工或测试实施

工程师按流程单执行工作

6、费用结算

按约定或实际设备机时结算

1、需求沟通与评估

明确器件性能指标与定制需求

2、方案设计与确认

制定工艺路线与流片方案

3、商务洽谈与签约

确定定制开发费用及交付周期

4、掩膜版制备与工程批试制

完成版图设计、掩膜版制作及小批量流片验证

6、小批量交付

良率提升及成品器件按需交付

5、性能测试与优化

结构表征与电学性能测试验收

4、联合研发实施

项目组成立及关键技术攻关

5、阶段性评审

对标项目里程碑进行进度验收

6、成果验收与转化

论文专利产出或产品技术转化

1、合作意向对接

高校、科研院所或企业需求对接

2、联合方案论证

技术评估、资源互补及课题拟定

3、签署合作协议

明确知识产权、保密条款(NDA)

1、培训需求咨询

咨询个人技能提升或企业内训

2、提交报名申请

填写并提交学员背景信息

3、资格审核与缴费

确认培训资格并完成费用缴纳

颁发结业证书

考核通过发放专业工艺培训结业证明

5、工艺实操指导

工程师一对一指导工艺实操

4、理论与安全培训

净化间规范与基础理论学习

<

>

本工艺中心提供微纳加工、器件制备及相关测试服务，支持客户委托加工及长期合作。

所有加工与测试任务均由专业工程师按照标准工艺流程实施。

如需开展加工或测试，请联系邓老师 | 电话：023-65409639 | 邮箱：denghr@cimems.com