基于北京理工大学团队已有的CMOS-MEMS集成、陀螺仪、2.5D/3D集成、ASIC设计、光学MEMS、声学MEMS、功率器件、光谱仪、激光雷达、光学相控阵和生物光子学的研究经验；重点开展微纳执行器和微纳传感器的新机理、新材料、新工艺、新结构的探究以及光、声、机、电、热、磁等器件及系统的微型化、多功能化、集成化等原创技术的研发工作。
在MEMS工艺平台上，开发多种MEMS芯片，并基于这些MEMS芯片开发多种新型声光电系统。开发创新的具有自主知识产权的声光电微纳芯片应用于生化检测、智能机器人、光通讯、物联网、无人驾驶、生物医疗、智能照明等领域。
