欢迎来到北京理工大学重庆微电子研究院!
描述
Device Sharing
北京理工大学重庆微电子研究院
电话:023-65409639
邮箱:denghr@ccmems.cn
地址:重庆市西永微电园研发楼
3期1号楼2单元
硅基深反应离子蚀刻机、步进光刻机、反应离子蚀刻机、等离子增强化学气相沉积台、磁控溅射台等合计47台/套;