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平台简介

以MEMS微镜和异质异构三维集成为核心技术，建设一条国内领先的兼容6″和4″晶圆的MEMS器件研发工艺线，具备硅基MEMS传感器/执行器完整微纳工艺加工能力；为新型硅基半导体材料、纳米材料生长、CMOS-MEMS集成以及异质异构三维集成等先进工艺研发提供支撑；同时，可对外提供全方位的微纳新工艺和代工服务，为开发新颖的MEMS微纳传感器和微纳执行器提供坚实的保障。其中，千级区洁净面积650m2，百级区洁净面积125m2，两期建设规划工艺设备约80台/套。

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研究院简介

责任教授

谢会开

北京理工大学重庆微电子研究院院长、首席科学家
IEEE Fellow、SPIE Fellow 北京理工大学教授、博士生导师
北理智能微纳传感与集成系统研究中心负责人
学术兼职

Sensors & Actuators A、IEEE Sensors Letters等国际期刊编辑
学术成果

发表学术论文300余篇，H-index为45，撰写学术专著11章，主编专著2部，授权美国专利17项，授权中国发明专利30余项。构建了光学元件和光机电系统的微型化、轻量化、智能化关键技术群。
主要研究方向

MEMS、CMOS集成传感器、惯性传感器、微纳光学、生物光子学、光学显微内窥影像等。

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